真空压力除泡机:半导体封装工艺中的“隐形守护者”
——台湾ELT除泡机,以创新技术赋能先进封装
在半导体封装领域,一颗微米级气泡足以成为产品的致命缺陷——它可能导致芯片散热不均、机械应力集中,甚至引发器件短路失效。随着封装技术向高密度、微型化发展,如何彻底消除制程中的气泡问题,已成为行业突破良率瓶颈的关键。台湾ELT作为真空压力除泡机品类的开创者,深耕半导体先进封装技术20余年,以自主核心技术为全球客户提供气泡整体解决方案,持续推动封装工艺革新。
真空除泡:半导体封装的核心挑战
从Mini/Micro LED巨量转移、芯片贴合(Die Attached)到IGBT模块灌封(Potting)、底部填胶(Underfill)等工艺,气泡的生成几乎贯穿封装全流程:
Mini/Micro LED:数百万颗微米级芯片的转移与封装中,微小气泡会导致发光不均、器件寿命骤降;
芯片贴合:粘接材料中的气泡会削弱界面结合力,引发分层风险;
IGBT灌封:环氧树脂固化前的脱泡不彻底,将直接影响模块散热与绝缘性能。
传统热风干燥或真空静态脱泡方式效率低、效果差,而ELT真空压力除泡机通过“动态压力循环技术”,在真空与高压环境间快速切换,迫使气泡膨胀破裂并随介质排出,实现高效、彻底的除泡效果。
ELT除泡机的核心技术优势
1. 精准工艺适配,覆盖全场景需求
ELT针对不同封装工艺开发专用解决方案:
高精度压力控制:压力范围覆盖-100kPa至+800kPa,支持从Mini LED的脆弱基板到IGBT厚胶层的差异化需求;
温度均匀性控制:±1℃温控精度,确保材料在脱泡过程中性能稳定;
智能程序化模块:预设30+种工艺配方,一键切换Mini LED、Underfill、OCA贴合(Lamination)等场景模式。
2. 专利技术提升效率与良率
多级梯度脱泡技术:通过压力阶梯式变化,避免材料因瞬间压差导致的形变或损伤;
双腔体并行处理:产能提升40%,满足晶圆级封装的大批量生产需求;
实时监测与数据追溯:内置传感器实时反馈脱泡曲线,数据可对接MES系统,实现工艺全程可控。
3. 成熟应用经验,赋能行业标杆客户
ELT已服务全球超过200家半导体企业,典型案例包括:
Mini LED量产线:为某头部面板厂解决巨量转移气泡残留问题,良率从88%提升至99.5%;
汽车IGBT模块:助力 Tier 1供应商实现环氧灌封零气泡缺陷,通过车规级可靠性认证;
先进封装Underfill工艺:在2.5D/3D封装中实现填胶孔隙率<0.01%,达到国际大厂标准。
多场景应用,定义行业新标准
ELT凭借对封装工艺的深度理解,持续拓展技术边界:
Mini/Micro LED:支持超薄基板(<0.2mm)与高密度阵列的快速脱泡;
芯片贴合(Die Attached):适配银胶、DAF膜等材料,消除界面微气泡;
点胶封胶(Dispensing):针对底部填胶、围坝填充等工艺优化脱泡速率;
OCA光学胶贴合:确保大尺寸触控模组无气泡残留,透光率达标。
ELT:以创新技术守护封装未来
在半导体封装迈向异质集成与系统级封装的今天,ELT持续投入研发,推出智能化除泡工作站,整合AI算法预测气泡生成规律,并通过远程运维系统实现设备状态全球监控。作为行业“隐形冠军”,ELT始终以客户需求为核心,用20年的技术沉淀与数百项专利,为半导体封装提供“零缺陷”的底气。
选择ELT,不仅是选择一台设备,更是选择一份对品质的极致追求。
台湾ELT作为除泡机品类开创者,深耕半导体先进封装技术20余年,专注解决半导体先进封装中的气泡问题,提供多种制程工艺中的气泡整体解决方案。对Mini/Micro LED、芯片贴合Die Attached、灌注灌封IGBT Potting、底部填胶underfill、点胶封胶Dispensing、OCA lamination等工艺拥有成熟应用经验。想了解更多ELT除泡机信息,请在线或来电咨询15262626897